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プラズマイオン注入成膜法による超厚膜DLCの作製

机译：通过等离子注入成膜方法制备超厚膜DLC

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ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，低摩擦係数で耐摩耗性に特に優れた特性を有しており，機械部品，金型，工具などへの適用が期待されている。 特に，自動車や産業機械の摺動系部品への適用が注目されているが，この場合，長期にわたる安定した耐摩擦摩耗特性の確保が必要であり，数10μmを越える超厚膜DLCの高密着成膿が要求される。 また，産米応用を加速するためには立体構造をした部品に均一かつ高額着で，しかも低コストで成膜する技術開発も必須である。 代表的なDLC膜の成膜手法である陰極アーク法やスパッタリング成膜法で作製したDLC膜は，約10GPa以上の比較的大きな圧縮応力が膜内に残留し，基材とDLC膜との密着力を阻害する要因になっている1￣3）。 このため，数FLmを越える厚膜DLCを金属基材上に成膜することは困難であった。
机译：类金刚石碳（DLC）膜具有低摩擦系数和优异的耐磨性，并有望应用于机械零件，模具，工具等。特别是在汽车和工业机械的滑动部件上的应用受到关注，在这种情况下，需要长期确保稳定的耐磨耗性，并且需要超过数十μm的超厚膜DLC的高密合性。化脓是必需的。另外，为了加速在水稻生产中的应用，必须开发技术以在具有三维结构的零件上形成均匀，昂贵和低成本的薄膜。通过阴极电弧法或溅射膜形成法（其是典型的DLC膜沉积方法）生产的DLC膜具有残留在膜中的相对较大的约10 GPa或更大的压缩应力，并且基板和DLC膜彼此粘附。这是一个阻碍功率1×3的因素。因此，难以在金属基板上形成超过几个FLm的厚膜DLC。

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