〈ホップ?ステップ?ジャンプ〉走査電子顕微鏡の最先端応用例ーFIB-SEM複合装置を用いた3次元構造解析

森川晃成

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〈ホップ?ステップ?ジャンプ〉走査電子顕微鏡の最先端応用例ーFIB-SEM複合装置を用いた3次元構造解析

机译：<跳，步，跳>扫描电子显微镜的最新应用实例-使用FIB-SEM复合装置进行三维结构分析

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走査電子顕微鏡(SEM)に集束イオンビーム加工観察装置(FIB)を複合化することにより,SEMの情報量が飛躍的に拡大する.その最先端応用が試料内部の3次元構造解析である.これは,F旧による微小部の加工と加工面のSEM観察を交互に繰り返して達成される.本稿では,3次元再構築の手法と応用例について紹介する.

机译：通过将聚焦离子束加工观察装置（FIB）与扫描电子显微镜（SEM）结合使用，可大大扩展SEM中的信息量，其最前沿的应用是样品内部的三维结构分析。通过交替重复微小零件的加工和用Fold对加工表面进行SEM观察来实现，本文介绍了3D重构的方法和应用实例。

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来源
《应用物理》 |2012年第6期|共4页
作者
森川晃成;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类应用物理学;
关键词

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