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Four dimensional Fokker-Planck solver for electron kinetics in collisional gas discharge plasmas

机译:用于碰撞气体放电等离子体中电子动力学的四维Fokker-Planck解算器

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摘要

A general-purpose, four-dimensional Fokker-Planck (FP) solver has been developed for simulation of electron kinetics in collisional gas discharge plasmas. This paper describes details of the numerical implementation and applications to inductively coupled plasmas, capacitively coupled plasmas, and dielectric barrier discharges. The FP solver offers a very good compromise between physical accuracy and numerical efficiency for simulations of electron energy distribution function in gas discharges. (C) 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.
机译:已经开发了通用的四维福克-普朗克(FP)求解器,用于模拟碰撞气体放电等离子体中的电子动力学。本文介绍了在电感耦合等离子体,电容耦合等离子体和介电势垒放电方面的数值实现及其应用的详细信息。 FP求解器在模拟气体放电中的电子能量分布函数时,在物理精度和数值效率之间提供了很好的折衷。 (C)2004 Elsevier B.V.保留所有权利。

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