...
首页> 外文期刊>Известия Академии наук. Серия физическая >ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ПЕРЕМЕШИВАНИЕ В МНОГОСЛОЙНЫХ ПЕРИОДИЧЕСКИХ КОМПОЗИЦИЯХ Mo/Si и Mo/C/Si/C ПРИ ОБЛУЧЕНИИ ИОНАМИ ГЕЛИЯ
【24h】

ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ПЕРЕМЕШИВАНИЕ В МНОГОСЛОЙНЫХ ПЕРИОДИЧЕСКИХ КОМПОЗИЦИЯХ Mo/Si и Mo/C/Si/C ПРИ ОБЛУЧЕНИИ ИОНАМИ ГЕЛИЯ

机译:氦离子辐照下多层周期Mo / Si和Mo / C / Si / C组合物中的离子束混合

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

Методами малоугловой рентгеновской дифрактометрии и электронной микроскопии поперечных срезов исследованы начальные стадии ионно-лучевого перемешивания в многослойных пленочных композициях Mo/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия с энергией 40 кэВ. Установлена зависимость изменения толщин слоев многослойного покрытия от дозы облучения, показано влияние углеродных барьерных слоев на интенсивность перемешивания.
机译:通过小角X射线衍射和截面电子显微镜研究了在40keV氦离子辐照下的Mo / Si和Mo / C / Si / C多层膜组合物中离子束混合的初始阶段。建立了多层涂层的厚度变化对辐照剂量的依赖性,并且显示了碳阻挡层对混合强度的影响。

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利