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レーザスペックルとデバイス間欠励振を利用した振動変位絶対測定

机译:使用激光散斑和间歇设备激励进行绝对振动位移测量

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摘要

圧電デバイスをその共振周波数で駆動したときの振動変位分布測定は,素子設計上重要である.ここでは,デバイス駆動時と非駆動時のレーザスペックル画像の輝度差から,その振動変位分布と面内変位の絶対値を測定する方法を述べる.この方法は,被測定デバイスの帯域に制限が無く,光学系を含む測定システムが極めてシンプルである点に特長を持っている.また,振動変位が既知である素子での測定による絶対測定の検証を行うと共に,実際のVHF帯水晶振動子に適用した結果を示すことで提案方法の有効性が示される.
机译:当压电器件以其共振频率驱动时,振动位移分布的测量对于元件设计很重要。这里,我们描述一种用于根据装置被驱动时和未被驱动时的激光斑点图像之间的亮度差来测量振动位移分布和面内位移的绝对值的方法。该方法的优点在于,不限制被测设备的频带,并且包括光学系统的测量系统非常简单。此外,通过用已知振动位移的元件进行测量来验证绝对测量值,并显示将其应用于实际的VHF带状晶体换能器的结果,可以证明所提出方法的有效性。

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