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マイクロデバイスのダウンサイジング化を支える薄膜材料物性評価技術-ナノ·マイクロ機械物性の定量計測を目指して

机译:薄膜材料特性评估技术,支持微型设备的小型化-旨在定量测量纳米/微型机械特性

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摘要

これまで行われてきたナノ·マイクロ材料の代表的な機械特性評価試験法には,引張試験,曲げ試験,硬さ試験,バルジ試験等がある.引張試験はバルク材評価の一般的な手法であり,対象材料の応力-ひずみ関係を直接計測できる利点を有している.しかし,試験片寸法が微小になると,従来のマクロな機械材料試験で培われた知識や経験がそのまま通用しない.これは,曲げ試験やねじり試験にも共通する.「微小材料」を対象とするがゆえに生じる特有の技術的問題点を如何にして解決するかが,この分野における現在の研究テーマの一部となっている.本稿では,著者らが開発した薄膜材料を対象とした力学試験技術の中から代表的なものを,実験結果の一例とともに紹介する.
机译:迄今为止,对纳米/微米材料进行的典型机械性能评估测试方法包括拉伸测试,弯曲测试,硬度测试和凸出测试。拉伸测试是评估散装材料的通用方法,其优点是能够直接测量目标材料的应力-应变关系。然而,当试件的尺寸变小时,常规的宏观机械材料测试中所积累的知识和经验无法直接应用。这在弯曲测试和扭曲测试中也很常见。如何解决针对“微材料”所引起的特殊技术问题是该领域当前研究主题的一部分。在本文中,我们将介绍作者开发的用于薄膜材料的典型机械测试技术,并提供一个实验结果示例。

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