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超精密位置決め技術の最新動向と設計のポイント 解説6 振動·熱などの外乱対策のポイント

机译：超精密定位技术和设计要点的最新趋势解释6防振和防热措施的要点

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摘要

精密位置決めにとって，位置決めステージそのものの高精度化が必要なことは自明である。これが生産装置のなかのユニットである場合には，精度とともにさらにスループットも重視せねばならない。端的に言えば，加減速駆動を強化することになる。さらに簡単に言えば，大電流を通電して電磁アクチュエータを駆動する。そうすると，高加減速駆動の衝撃によって誘起されるステージそのもの，および周辺機器の振動の発生は避けられない。加えて，大電流の通電はジュールの法則という自明の原理に基づいて発熱を引き起こし，これも位置決め精度に悪影響を及ぼす。因果はめぐる糸車。悪縁を断ち切ることはできず，発生する機械振動に対して制振技術を適用する。そして発熱に対しては，，温調技術を投入することになる。本稿では，特に半導体露光装置のなかで使用されているステージの振動および発熱対策を解説する。
机译：不言而喻的是，定位台本身需要高度精确才能进行精确定位。如果这是生产设备中的一个单元，则必须强调吞吐量以及准确性。简而言之，加速/减速驱动将得到加强。更简单地，施加大电流以驱动电磁致动器。然后，不可避免地产生由高加减速驱动的冲击引起的平台本身和外围设备的振动。另外，基于焦耳定律的不言而喻的原理，大电流的通电会产生热量，这也会对定位精度产生不利影响。绕因果关系的绕线轮。不可能切断不良关系，并且将振动抑制技术应用于所产生的机械振动。为了产生热量，将引入温度控制技术。在本文中，我们将说明针对半导体曝光设备所使用的工作台的振动和发热措施。

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