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特殊鋼ミクロ組織のやさしい見方:II.ミクロ組織の観察方法-2.電子顕微鏡

机译:特殊钢显微组织的简单视图:II。显微组织观察方法-2。电子显微镜

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摘要

電子顕微鏡は、1,000倍以上の高倍率の世界を観察することが可能であり、これまでも種々の鋼のミクロ組織を観察する有効なツールとして広く用いられてきた。ここでは、電子顕微鏡の原理や使用目的、さらに試料調製法について概説する。 電子線を試料に照射すると、図1に示すように入射させた電子と物質との相互作用により、試料表面より二次電子、反射電子、特性X線等が発生する。 さらに試料が薄ければ電子は透過することが可能となる(透過電子)。 そこで、電子顕微鏡は二つに大別される。 一つは試料表面より発生する二次電子を主に用いて像観察を行う走査電子顕微鏡(SEM: Scanning Electron Microscope)であり、もうひとつは試料を透過した電子を用いて結像を行う透過電子顕微鏡(TEM: Transmission Electron Microscope)である。
机译:电子显微镜可以以1,000倍以上的高倍率观察世界,并已被广泛用作观察各种钢的微观结构的有效工具。在此,概述了电子显微镜的原理,使用目的和样品制备方法。当用电子束照射样品时,由于入射电子和物质之间的相互作用,如图2所示,从样品表面产生二次电子,反射电子,特征X射线等。此外,如果样品薄,则可以透射电子(透射电子)。因此,电子显微镜大致分为两种。一种是扫描电子显微镜(SEM),它主要使用从样品表面产生的二次电子来观察图像,另一种是透射电子,它使用穿过样品的电子来形成图像。它是显微镜(TEM:透射电子显微镜)。

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