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コロナ放電型イオナイザ用直流高圧電源の簡易電圧制御法に関する研究

机译：电晕放电型离子发生器直流高压电源的简单电压控制方法研究

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イオナイザ（ionker）の本来の意味は，イオン化装置であるが，発生したイオンによる中和作用（除電効果）を利用するため，静電気工学の分野では除電器（charge eliminating device）の同義語として用いられる場合が殆どである。本研究でも同様の意味で用いることとし，実験を通じてコロナ放電型イオナイザの問題点を検討する。コロナ放電型イオナイザは半導体の製造装置の生産ライン等に利用されているが，その構造上オゾンの発生，イオンバランスや除電時間の問題，電源の小型化の問題等改良の余地が多々あるといえる。この研究では，主として高周波交流式イオナイザのイオン電流の測定法および簡易型直流電源の構成法について検討を進める。
机译：ionker的本义是电离器，但由于它利用了所产生离子的中和作用（静电消除作用），因此在静电工程领域被用作电荷消除装置的代名词。在大多数情况下。本研究中将使用相同的含义，并且将通过实验研究电晕放电型电离器的问题。电晕放电型电离器用于半导体制造设备的生产线中，但是由于其结构，存在很大的改进空间，例如臭氧产生，离子平衡和静电消除时间问题以及电源小型化问题。 ..在本研究中，我们将主要研究测量高频交流电离器离子电流的方法和构建简单直流电源的方法。

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