プラズマベースイオン注入法を用いたRFバーストプラズマによる放電特性

藤村信幸; 野口央照; 下野和洋; 豊田宏; 田中武

首页> 外文期刊>静電気学会講演論文集 >プラズマベースイオン注入法を用いたRFバーストプラズマによる放電特性

【24h】

プラズマベースイオン注入法を用いたRFバーストプラズマによる放電特性

机译：使用基于等离子体的离子注入方法，RF突发等离子体的放电特性

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本研究では、プラズマ滅菌を行うときに最適なプラズマ生成法を検討するために、RFバーストプラズマのプラズマ生成に必要な最小限の電力量の検討を行った。また、RFバーストプラズマを生成したときの発光スペクトルを分光器を用いて測定した。

机译：在这项研究中，为了研究用于等离子体灭菌的最佳等离子体产生方法，检查了产生RF突发等离子体的等离子体所需的最小功率。另外，使用分光镜测量了产生RF猝发等离子体时的发射光谱。

著录项

来源
《静電気学会講演論文集》 |2014年第null期|共2页
作者
藤村信幸; 野口央照; 下野和洋; 豊田宏; 田中武;
展开▼
作者单位

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类电磁学、电动力学;
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. プラズマベースイオン注入法を用いたRFバーストプラズマによる放電特性 [J] . 藤村信幸, 野口央照, 下野和洋, 静電気学会講演論文集 . 2014,第Null期

机译：使用基于等离子体的离子注入方法，RF突发等离子体的放电特性
2. プラズマベースイオン注入法を用いたRFバーストプラズマによる放電特性 [J] . 藤村信幸, 野口央照, 下野和洋, 静電気学会講演論文集 . 2014,第Null期

机译：使用基于等离子体的离子注入方法通过RF突发等离子体放电特性
3. プラズマベースイオン注入法を用いた窒素イオン注入表面の高分解能ラザフォード後方散乱分光法による評価 [J] . 田中武, 高木俊宜真空 . 2006,第5期

机译：使用基于等离子体的离子注入技术对氮注入表面进行高分辨率卢瑟福背散射光谱表征
4. アルゴン酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマによるポリイミドアッシングの特性 [C] . 本田進之介, 大津康徳応用物理学会秋季学術講演会;応用物理学会 . 2018

机译：氩氧混合气高频空心阴极放电等离子体聚酰亚胺灰化特性
5. ラクトン環開環反応を利用したガスクロマトグラフィー/マススペクトロメトリーによるプロスタノイドの分析化学的研究 [D] . 大山良治 1991

机译：内酯开环反应气相色谱/质谱法分析前列腺素。
6. マルチスケールブートストラップホウニヨルヒンドロンテキオヨビベイズテキナシンライドケイサント FDR トウケイテキスイソクエノベイズテキアプローチトソレニカンレンスルワダイ [O] . 下平英寿 2009

机译：多尺度自举Houniyoru Hindronteki Oyobi Bayes Tekina Shinride Keisant FDR Tokei Teisuisoku Enobayes Teki Approach Tosole Nikanlen Suru Wadai

プラズマベースイオン注入法を用いたRFバーストプラズマによる放電特性

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅