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コロナ放電型イオナイザの除電特性に及ぼす負性ガスの効果

机译:负气体对电晕放电型离子发生器静电消除特性的影响

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摘要

以前の研究では,窒素に負性ガス(O_2,SF_6)を微量注入した混合ガス中で除電特性を調査した.N_2-SF_6混合ガス中において,SF_6の分圧比が0.025%程度でもイオンバランスは改善された.しかし,実験装置の都合上,排気能力に限界があり,これより低い分圧比での測定はできなかった.そこで本研究では,油拡散ポンプを用い,背景圧力をさらに下げられる実験装置を構築し,SF_6の分圧比をさらに下げて除電特性を調査した.
机译:在先前的研究中,研究了在混合气体中的静电消除特性,该混合气体中向氮气中注入了少量的负气体(O_2,SF_6)。在N_2-SF_6混合气体中,即使SF_6的分压比为约0.025%,离子平衡也得到改善。但是,由于实验设备的便利性,排气能力受到限制,并且无法以低于此的分压比进行测量。因此,在这项研究中,我们构建了一个可以使用油扩散泵进一步降低背景压力的实验装置,并通过进一步降低SF_6的分压比来研究静电消除特性。

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