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机译：是否保持100吨水平？

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三塩化ホウ素の2014年出荷量は、2％増、105t前後で推移したと見られる。主な用途は、光ファイバーのドーピング材、シリコン半導体のイオン注入·エッチング、液晶TFTや太陽電池のドーピングの材料として使われる。また、海外では、韓国サムスン電子が低温ポリシリコン（LTPS）TFTに三塩化ホウ素を使っているとされる。

机译：预计2014年三氯化硼的出货量将增长2％，达到105吨左右。它主要用作光纤的掺杂材料，硅半导体的离子注入/蚀刻以及液晶TFT和太阳能电池的掺杂材料。在海外，韩国三星电子据说将三氯化硼用于低温多晶硅（LTPS）TFT。

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来源
《ガスレビユ—》 |2015年第808期|共1页
作者
ガスレビユ— group;
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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类工业气体;
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