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首页> 外文期刊>電子情報通信学会技術研究報告. シリコン材料·デバイス. Silicon Devices and Materials >リンドープのシリコンナノインクを用いたレーザードーピングによる単結晶シリコン太陽電池の作製
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リンドープのシリコンナノインクを用いたレーザードーピングによる単結晶シリコン太陽電池の作製

机译：使用磷掺杂的硅纳米油墨通过激光掺杂制备单晶硅太阳能电池

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レーザードーピングはフォトリソグラフィーなどによるマスクなしで簡便に局所的な不純物ドープが可能であるため，セレクティブエミッタ等の高効率太陽電池構造への応用が期待されている．シリコンナノインクとは高濃度に不純物をドープしたシリコンナノ粒子を溶液中に分散させたものであり，本研究ではリンドープのシリコンナノインクをドーピングプレカーサーとして連続発振緑色レーザーを照射した．レーザー照射後，シリコンナノ粒子およびシリコン基板の溶融，再結晶化によるリンのドーピングとp-n接合の形成を確認した．作製した太陽電池の光電特性評価等について報告する．
机译：由于激光掺杂可以通过光刻法容易地执行没有掩模的局部杂质掺杂，因此期望将其应用于诸如选择发射极之类的高效太阳能电池结构。硅纳米墨水是一种分散有重掺杂杂质的硅纳米粒子的溶液，本研究以掺磷的硅纳米墨水为掺杂前驱体，并用连续振荡的绿色激光辐照。激光照射后，证实硅纳米颗粒和硅衬底熔融并重结晶以掺杂磷并形成pn键。我们报告对制造的太阳能电池的光电特性的评估。

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