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【24h】

論理シミュレーションにもとづいたNBTI劣化過渡解析の高速化手法

机译:基于逻辑仿真的高速NBTI退化瞬态分析方法

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摘要

負バイアス温度不安定性(NBTI)劣化が,微細化されたトランジスタにおいて重要な信頼性問題のひとつとなっている.本論文では,反応·拡散モデルを用いたNBTIシミュレーションにおいて,論理シミュレーション結果にもとづいて各トランジスタにおけるゲート酸化膜中の水素分布を計算することにより,高精度なNBTI劣化過渡解析を実現する.NBTI劣化の周波数依存性を用いることで,例えば1秒間のシミュレーション結果を1年間のシミュレーション結果へと加速変換する方法についても提案する.
机译:负偏置温度不稳定性(NBTI)下降是小型晶体管中的关键可靠性问题之一。本文中,在使用反应/扩散模型的NBTI模拟中,通过基于逻辑模拟结果计算每个晶体管的栅极氧化膜中的氢分布,可以实现高精度的NBTI劣化瞬态分析。例如,通过使用NBTI降级的频率依赖性,我们还提出了一种方法,用于加速将1秒模拟结果转换为1年模拟结果。

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