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【24h】

薬液用液中パーティクルカウンタ：光散乱方式を用いた粒径30nmの検出

机译：化学品液体中粒子计数器：使用光散射法检测30 nm的粒径

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光散乱現象を用いて液相中の浮遊微粒を測定する液中パーティクルカウンタ（LPC：Liquid-borne Particle Counter）は半導体デバイス業界の幅広い現場で使用されている。最先端の半導体デバイスは微細化を進め、ハーフピッチ14nmの超微細構造を量産に用いる時代となっている。一方、高集積化とは別のアプローチであるMore than Mooreと呼ばれる技術により半導体デバイスの進化を推進する動きも活発である。いずれにしても、生産工程中に用いる種々の液体材料における粒子汚染の制御（清浄度の制御）は、歩留まりや品質を維持するための重要な管理対象である。清浄度の評価方法はさまざまあるが、LPCを使用した粒子管理手法は、検出感度の高さや即時的かつ連続的に測定結果が得られ、オペレータによる測定のばらつきが少ない等の特徴により依然有用である。本稿では、リオンのLPC製品群の中でも最も微小な粒子を測定できるLPCを例にして、光散乱現象の原理をまじえながらその特長について紹介する。
机译：液载粒子计数器（LPC）利用光散射现象测量液相中的悬浮粒子，已在半导体器件行业中广泛应用。最先进的半导体器件正在变得越来越精细，并且我们现在处于一个时代，在这种时代中，半节距为14 nm的超精细结构被用于批量生产。另一方面，通过使用一种叫做摩尔摩尔（More than Moore）的技术来积极推动半导体器件的发展，这是一种与高集成度不同的方法。无论如何，控制生产过程中使用的各种液体材料中的颗粒污染（控制清洁度）是保持产量和质量的重要控制目标。有多种评估清洁度的方法，但是使用LPC的颗粒管理方法仍具有实用性，因为它具有诸如高检测灵敏度，即时和连续的测量结果以及操作者的测量变化很小的特点。在那儿。在本文中，我们将介绍LPC的功能，该功能可以测量Rion LPC产品组中最细的颗粒，包括光散射现象的原理。

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