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【24h】

マイクロバブルとクリーンテクノロジー：世界初MNBによる半導体工場の排水処理－高濃度アンモニア含有排水のMNBによる無希釈生物処理技術

机译：微气泡和清洁技术：半导体工厂的世界上第一个MNB废水处理-MNB的高浓度含氨废水未经稀释的生物处理技术

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摘要

企業のリスクに対する考え方が、最近では着目されており、工場のリスクアセスメントと言う形で議論されている。 すなわち、リスクアセスメントの観点から低いリスクの排水処理システムが求められている。 低いリスクの排水処理システムの代表として、微生物による排水処理システムが存在しているが、微生物の適用範囲が狭いことが多く、また処理に季節変動が起こる等の課題があった。 又、環境に関する法律の考え方が、従来の「規制により拘束する方法」から、PRTR（Pollutant Release and Transfer Register：環境汚染物質排出移動登録）法に代表されるように「企業に自ら情報開示をさせ、企業の取り組み姿勢を消費者に判断させる方法」へと変化している。この様な背景下、2004年4月に水質汚濁防止法が改正され、窒素の総量規制が開始された。 微細化が進む半導体製造プロセスでは、アンモニア水などを混合した薬液を用いたウエハ表面を洗浄する工程があり、当事業所では、主として最新鋭のプロセスにおいて、この工程が増加し排水中のアンモニア由来の窒素排出量が増加傾向にあった。
机译：近来，关于企业风险的思考方式已经引起人们的关注，并且正在以工厂风险评估的形式进行讨论。即，从风险评估的观点来看，需要低风险的废水处理系统。作为低风险废水处理系统的代表，存在使用微生物的废水处理系统，但是存在诸如微生物的应用范围通常狭窄以及在处理中发生季节性波动之类的问题。此外，以PRTR（污染物排放和转移登记）法为代表的关于环境的法律的观念已经从传统的``受法规约束的方法''变为``让公司自行披露信息''。一种让消费者判断公司态度的方法。”在此背景下，2004年4月修订了《水污染控制法》，对氮的总量进行了规定。在日趋精细的半导体制造工艺中，有一种使用与氨水等混合的化学溶液清洗晶圆表面的工艺，在我们的办公室中，该工艺主要是在最新工艺中有所增加，并且它源自废水中的氨。氮排放趋于增加。

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