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Multiplicative moiré two-beam phase-stepping and Fourier-transform methods for the evaluation of multiple-beam Fizeau patterns: a comparison

机译：用于多光束菲索模式评估的乘性莫尔两光束相位步进和傅里叶变换方法：比较

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A phase-evaluation method of multiple-beam Fizeau patterns that combines two-beam phase-stepping algorithms with the moiré effect was previously reported [Appl. Opt. 34, 3639-3643 (1995)]. The method is based on a multiplicative moiré image-formation process obtained by the direct superposition of high-frequency multiple-beam Fizeau carrier fringes upon a transmission grating (working as a phase modulator). We present a comparison between this multiplicative moiré two-beam phase-stepping method and the well-known Fourier-transform method for the topographic measurement of an undoped silicon wafer. The discrepancy between the two methods yields arms phase-difference value of the order of (~2π/90).#1998 Optical Society of America OCIS codes: 120.3180, 070.4340, 120.4120.
机译：先前报道了一种将两束相位步进算法与莫尔效应相结合的多束Fizeau模式的相评估方法[Appl。选择。 34，3639-3643（1995）]。该方法基于通过将高频多光束Fizeau载波条纹直接叠加在透射光栅（用作相位调制器）上而获得的乘法莫尔图像形成过程。我们提出了这种莫尔条纹两光束相位步进方法与用于未掺杂硅晶片形貌测量的众所周知的傅里叶变换方法之间的比较。两种方法之间的差异产生的臂相差值约为（〜2π/ 90）。＃1998美国光学学会OCIS代码：120.3180、070.4340、120.4120。

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