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Optical metrology for analysis of lobster-eye x-ray optics

机译：用于龙虾眼X射线光学系统分析的光学计量

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A new method that uses optical microscopy to determine the physical structure of lobster-eye x-ray optics is described. This approach offers the ability to predict x-ray performance without having to take an x-ray measurement. An overlapping series of images of the entrance and exit faces of an optic are obtained and examined by purpose-built software. A 24-parameter description of each channel is obtained from which a quantitative analysis of all the major optic defects, except surface roughness, is performed. Results for a planar lobster-eye optic are used to illustrate this technique and discuss its abilities as well as directions for future enhancements. (C) 2003 Optical Society of America. [References: 23]
机译：描述了一种使用光学显微镜确定龙虾眼X射线光学器件物理结构的新方法。这种方法提供了无需进行X射线测量即可预测X射线性能的功能。通过专用软件获得并检查了光学器件的入射面和出射面的一系列重叠图像。获得每个通道的24参数描述，然后对所有主要的光学缺陷（表面粗糙度除外）进行定量分析。平面龙虾眼光学系统的结果用于说明此技术，并讨论其功能以及未来增强的方向。 （C）2003年美国眼镜学会。 [参考：23]

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