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【24h】

Phase-shifting interferometry with equal phase steps by use of a frequency-tunable diode laser and a Fabry-Perot cavity

机译：通过使用可调频二极管激光器和Fabry-Perot腔以相等的相位步进进行相移干涉术

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A phase-shifting interferometry (PSI) with equal phase steps by use of a frequency-tunable diode laser and a Fabry-Perot cavity is proposed for the Carre algorithm. The measurement accuracy of the Carre algorithm depends on the equality of the phase steps. Using the Fabry-Perot cavity as a highly stable optical frequency reference, a high degree of phase step equality can be realized in PSI with an optical frequency shift. Our experimental scheme realizes an optical frequency step equality higher than 5.1 X 10~(-5) and a measurement repeatability of lambda/800.
机译：针对Carre算法，提出了一种利用频率可调二极管激光器和法布里-珀罗腔的具有相等相位步长的相移干涉术（PSI）。 Carre算法的测量精度取决于相位步长的相等性。使用Fabry-Perot腔作为高度稳定的光学频率参考，可以在具有光学频率偏移的PSI中实现高度的相位步长相等。我们的实验方案实现了高于5.1 X 10〜（-5）的光频率步长相等性和lambda / 800的测量重复性。

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