• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Applied optics >Modified channeled spectrum for fast measurement of thin films
【24h】

Modified channeled spectrum for fast measurement of thin films

机译：改进的通道光谱可快速测量薄膜

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

A simple and effective technique for the simultaneous measurement of the refractive index and the thickness of thin films is proposed. The method is based on the spectral dependence of the visibility of interference fringes that result from thin-film interference when the film is illuminated with a white light. The film is on the special substrate, and an optical contact is provided between them. The measurement consists of finding the local change of the fringes' visibility in the observed channeled spectrum expressed as the seaming change of the fringes' periodicity. The method can be applied for real time optical inspection during the manufacturing of thin polymer films.
机译：提出了一种同时测量薄膜的折射率和厚度的简单有效的技术。该方法基于干涉条纹的可见性的光谱依赖性，该干涉条纹的可见性是当薄膜被白光照射时薄膜干涉产生的。薄膜在特殊基材上，并且在它们之间提供光学接触。测量包括在观察到的通道频谱中找到条纹可见性的局部变化，表示为条纹周期性的接缝变化。该方法可以应用于聚合物薄膜制造过程中的实时光学检查。

著录项

  • 来源
    《Applied optics》 |2008年第4期|共5页
  • 作者

    G. Dyankov;

  • 作者单位
  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号