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Conditions for primitive-lattice-vector-direction equal contrasts in four-beam-interference lithography

机译：四光束干涉光刻中原始晶格矢量方向相等对比度的条件

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Four distinct conditions for primitive-lattice-vector-direction equal contrasts in four-beam interference are introduced and described. By maximizing the absolute contrast subject to an equal contrast condition, lithographically useful interference patterns are found. Each condition is described in terms of the corresponding constraints on the plane wave wave vectors, polarizations, and intensities. The resulting locations of global intensity maxima, minima, and saddle points are presented. Subordinate conditions for unity absolute contrast are also developed. Three lattices are treated for each condition: simple cubic, face-centered cubic, and body-centered cubic.
机译：引入和描述了四束干涉中原始晶格矢量方向相等对比度的四个不同条件。通过使相等对比度条件下的绝对对比度最大化，可以找到光刻上有用的干涉图样。根据对平面波矢量，极化和强度的相应约束来描述每个条件。给出了整体强度最大值，最小值和鞍点的结果位置。还建立了统一绝对对比度的从属条件。对于每种条件，将处理三个晶格：简单立方，面心立方和体心立方。

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