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Optical diagnostics of anisotropic nanoscale films on transparent isotropic materials by integrating reflectivity and ellipsometry

机译：通过集成反射率和椭圆偏振法对透明各向同性材料上的各向异性纳米薄膜进行光学诊断

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The reflection of s- and p-polarized electromagnetic plane waves from an anisotropic ultrathin dielectric film on transparent isotropic substrate is investigated in the long-wavelength limit. The analytical approximate formulas are obtained for the reflection coefficients and ellipsometric angles that agree with the exact computer solution of the reflection problem for anisotropic systems. The possibilities of using the obtained expressions for resolving the inverse problem for ultrathin anisotropic dielectric films upon isotropic dielectric substrates are discussed. It is shown that a promising technique for determining the optical constants of anisotropic dielectric films on transparent substrates is the integration of ellipsometry and differential reflectivity.
机译：在长波长范围内，研究了各向异性各向异性超薄介电膜在透明各向同性基板上对s和p极化电磁平面波的反射。获得了反射系数和椭圆角的解析近似公式，这些公式与各向异性系统的反射问题的精确计算机解决方案相吻合。讨论了使用获得的表达式来解决各向同性介电基片上的超薄各向异性介电膜的反问题的可能性。已经表明，用于确定透明基板上的各向异性介电膜的光学常数的有前途的技术是椭圆偏振法和微分反射率的集成。

著录项

  • 来源
    《Applied optics》 |2009年第31期|共11页
  • 作者

    Peep Adamson;

  • 作者单位
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
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