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Highly precise micro-retroreflector array fabricated by the LIGA process and its application as tapped delay line filter

机译：通过LIGA工艺制造的高精度微反射镜阵列及其在抽头延迟线滤波器中的应用

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We report on the fabrication of a one-dimensional micro-retroreflector array with a pitch of 100 μm. The array was fabricated by x-ray lithography and the lithographie, galvanik und abformung (LIGA) process in a 1 mm thick poly(methyl methacrylate) (PMMA) layer and subsequently covered with Au. The area of the array is 1 mm × 10 mm. The high precision of the LIGA-based fabrication process allows one to use the element in spectrometers. Here, it is suggested to apply it to the implementation of a transversal filter for femtosecond pulses. We present a theoretical description of the performance of the retroreflector array as a filtering device and show experimental results.
机译：我们报告了一个间距为100μm的一维微反射镜阵列的制造。该阵列是通过X射线光刻和光刻，电镀和成型（LIGA）工艺在1毫米厚的聚（甲基丙烯酸甲酯）（PMMA）层中制成的，然后用Au覆盖。阵列的面积为1 mm×10 mm。基于LIGA的制造过程的高精度允许人们在光谱仪中使用该元素。在此建议将其应用于飞秒脉冲的横向滤波器的实现。我们介绍了后向反射器阵列作为过滤装置的性能的理论描述，并显示了实验结果。

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