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Vibration insensitive extended range interference microscopy

机译:振动不敏感的扩展范围干涉显微镜

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摘要

Using a simultaneous phase sensor, the proposed instrument performs highly repeatable measurements over an extended range in the presence of vibration common to a laboratory setting. Measurement of a 4.5 μm step standard in the presence of vibration amplitudes of 40 nm produces a repeatability of 1.5 nm RMS with vertical scanning data acquired at 400 nm intervals. The outlined method demonstrates the potential to tolerate larger vibration amplitudes up to or beyond a quarter wavelength and to increase the data acquisition step size to that approaching the depth of field of standard microscope imaging systems.
机译:使用同步相位传感器,在存在实验室设置常见的振动的情况下,所提出的仪器可以在扩展的范围内执行高度可重复的测量。在振动幅度为40 nm的情况下对4.5μm步进标准物进行测量,可产生1.5 nm RMS的可重复性,并以400 nm的间隔获取垂直扫描数据。概述的方法证明了有可能承受更大的振幅,直到或超过四分之一波长,并将数据采集步长增加到接近标准显微镜成像系统的景深。

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