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Parameter extraction from fabricated silicon photonic devices

机译：从制造的硅光子器件中提取参数

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Three sets of devices were simulated, designed, and laid out for fabrication in the EuroPractice shuttle program and then measured in-house after fabrication. A combination of analytical and numerical modeling is used to extract the dispersion curves that define the effective index of refraction as a function of wavelength for three different classes of silicon photonic devices, namely, micro-ring resonators, racetrack resonators, and directional couplers. The results of this phenomenological study are made plausible by the linearity of the extracted dispersion curves with wavelength over the wavelength regime of interest (S and C bands) and the use of the determined effective indices to reconstruct the measured transmission as a function of wavelength curves in close agreement with experiment. The extracted effective indices can be used to place limits on the actual fabricated values of waveguide widths, thicknesses, radii of curvature, and coupling gaps.
机译：在EuroPractice穿梭程序中对三套设备进行了模拟，设计和布置，以进行制造，然后在制造后进行内部测量。分析模型和数值模型的组合用于提取色散曲线，该色散曲线定义了三种不同类型的硅光子器件（即微环谐振器，跑道形谐振器和定向耦合器）的有效折射率与波长的关系。这种现象学研究的结果是合理的，因为所提取的色散曲线在感兴趣的波长范围（S和C波段）上具有波长线性关系，并使用确定的有效指标来重建所测得的透射率，作为波长曲线的函数与实验非常吻合提取的有效指数可用于对波导宽度，厚度，曲率半径和耦合间隙的实际制造值进行限制。

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