机译:具有自由曲面蝇眼的三镜照明系统的设计,用于极端紫外光刻
机译:具有自由曲面蝇眼的三镜照明系统的设计,用于极端紫外光刻
机译:高数字孔径极端紫外线光刻照明系统的设计
机译:用于极紫外光刻的三非球面镜投影相机的照明系统设计
机译:通过布置硅镜元件来制造极端紫外线光刻照明系统的射击镜
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:迈向极紫外光刻的高精度反射计
机译:极端紫外线光刻中的系统级线边粗糙度限制
机译:用于极紫外投影光刻的临界照明聚光器