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Fiber-based distance sensing interferometry

机译:基于光纤的距离传感干涉仪

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摘要

We present an interferometric displacement sensor based on a folded low-finesse Fabry-Perot cavity. The fiber-optic sensor uses a quadrature detection scheme based on the wavelength modulation of a DFB laser. This enables measuring position changes over a range of 1 m for velocities up to 2 m/s. The sensor is well suited to work in extreme environments such as ultrahigh vacuum, cryogenic temperatures, or high magnetic fields and supports multichannel applications. The interferometer achieves a repeatability of 0.44 nm(3 sigma) at a working distance of 20 mm, a resolution of 1 pm, and an accuracy of 1 nm. (C) 2015 Optical Society of America
机译:我们提出了一种基于折叠式低精细法布里-珀罗腔的干涉式位移传感器。光纤传感器使用基于DFB激光器的波长调制的正交检测方案。对于速度高达2 m / s的情况,这可以测量1 m范围内的位置变化。该传感器非常适合在极端环境下工作,例如超高真空,低温或强磁场,并支持多通道应用。干涉仪在20 mm的工作距离,1 pm的分辨率和1 nm的精度下可实现0.44 nm(3 sigma)的可重复性。 (C)2015年美国眼镜学会

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