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【24h】

3D hierarchical architectures based on self-rolled-up silicon nitride membranes

机译：基于自卷起的氮化硅膜的3D分层体系结构

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This study presents the superior structural versatility of strained silicon nitride (SiN_x) membranes as a platform for three-dimensional (3D) hierarchical tubular architectures. The effects of compressive and tensile stressed SiN_x layer thickness on the self-rolled-up tube curvature, the sacrificial layer etching anisotropy on rolling direction and chirality, and stress engineering by localized thickness control or thermal treatment, are explored systematically. Using strained SiN_x membranes as an electrically insulating and optically transparent mechanical support, compact 3D hierarchical architectures involving carbon nanotube arrays and passive electronic components are demonstrated by releasing the functional structures deposited and patterned in 2D. These examples highlight the uniqueness of this platform that exploits 2D processing and self-assembly to achieve highly functional 3D structures.
机译：这项研究提出了应变氮化硅（SiN_x）膜优越的结构通用性，可作为三维（3D）分层管状结构的平台。系统地研究了压缩和拉伸应力SiN_x层厚度对自卷管曲率，牺牲层蚀刻各向异性对轧制方向和手性的影响以及通过局部厚度控制或热处理进行应力工程的影响。使用应变SiN_x膜作为电绝缘和光学透明的机械支撑，通过释放以2D方式沉积和构图的功能结构，可以演示涉及碳纳米管阵列和无源电子组件的紧凑3D层次结构。这些示例凸显了该平台的独特性，该平台利用2D处理和自组装来实现功能强大的3D结构。

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