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Low-cost fabrication technologies for nanostructures: state-of-the-art and potential

机译：纳米结构的低成本制造技术：最新技术和潜力

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In the last decade, some low-cost nanofabrication technologies used in several disciplines of nanotechnology have demonstrated promising results in terms of versatility and scalability for producing innovative nanostructures. While conventional nanofabrication technologies such as photolithography are and will be an important part of nanofabrication, some low-cost nanofabrication technologies have demonstrated outstanding capabilities for large-scale production, providing high throughputs with acceptable resolution and broad versatility. Some of these nanotechnological approaches are reviewed in this article, providing information about the fundamentals, limitations and potential future developments towards nanofabrication processes capable of producing a broad range of nanostructures. Furthermore, in many cases, these low-cost nanofabrication approaches can be combined with traditional nanofabrication technologies. This combination is considered a promising way of generating innovative nanostructures suitable for a broad range of applications such as in opto-electronics, nano-electronics, photonics, sensing, biotechnology or medicine.
机译：在过去的十年中，在纳米技术的多个学科中使用的一些低成本纳米加工技术在生产创新纳米结构的多功能性和可扩展性方面已显示出令人鼓舞的结果。尽管诸如光刻之类的常规纳米加工技术已经成为并且将成为纳米加工的重要组成部分，但是一些低成本的纳米加工技术已经展示出了大规模生产的出色能力，提供了具有可接受的分辨率和广泛的多功能性的高产量。本文对其中的一些纳米技术方法进行了综述，提供了有关能够制造多种纳米结构的纳米制造工艺的基本原理，局限性和潜在的未来发展信息。此外，在许多情况下，这些低成本的纳米加工方法可以与传统的纳米加工技术相结合。这种结合被认为是产生创新纳米结构的一种有前途的方式，该创新纳米结构适用于广泛的应用，例如在光电，纳米电子，光子学，传感，生物技术或医学中。

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