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Fabrication of 50 nm scale Pt nanostructures by block copolymer (BCP) and its characteristics of surface-enhanced Raman scattering (SERS)

机译：嵌段共聚物（BCP）制备50 nm规模的Pt纳米结构及其表面增强拉曼散射（SERS）的特性

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Surface-enhanced Raman scattering (SERS) represents an important phenomenon that can solve the low signal intensity of Raman spectroscopy, applied as a bio and chemical sensor and analyzer. The SERS effect can be varied with the substrate structure. In this study, we investigated the effect of various Pt nanostructures (e.g., Pt nanoholes, Pt nanorods, and Pt nanotubes) on the sensitivity of SERS. We fabricated 50 nm-scale Pt nanostructures with different heights with a self-aligned block copolymer (BCP) process composed of the self-assembly of BCP, Pt atomic layer deposition, and reactive ion etching of a silicon substrate and Pt. Our investigation of the SERS effect with rhodamine 6G showed a significant dependence on the shape (but not the height) of the nanostructure. Among the different Pt nanostructures investigated, Pt nanotubes (possessing the structural characteristics of nanoholes and nanorods) showed the highest SERS effect, while Pt nanoholes showed the lowest SERS effect.
机译：表面增强拉曼散射（SERS）代表了一种重要的现象，可以解决拉曼光谱的低信号强度问题，被用作生化传感器和分析仪。 SERS效应可随基材结构而变化。在这项研究中，我们研究了各种Pt纳米结构（例如Pt纳米孔，Pt纳米棒和Pt纳米管）对SERS敏感性的影响。我们利用自对准嵌段共聚物（BCP）工艺制造了具有不同高度的50 nm尺寸的Pt纳米结构，该工艺包括BCP的自组装，Pt原子层沉积以及硅基板和Pt的反应离子刻蚀。我们对若丹明6G的SERS效应的研究显示出对纳米结构的形状（而不是高度）的依赖性。在研究的不同Pt纳米结构中，Pt纳米管（具有纳米孔和纳米棒的结构特征）显示出最高的SERS效应，而Pt纳米孔显示出最低的SERS效应。

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