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Femtosecond laser direct patterning of sensing materials toward flexible integration of micronanosensors

机译：飞秒激光直接图案化传感材料，实现微纳米传感器的灵活集成

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Reported is femtosecond laser direct patterning of sensing materials toward flexible integration of micronanosensors (FIMS), meaning the capability to fabricate multiple functional sensors of smaller size on a nonflat surface of a substrate that is not limited to silicon. As a representative example, a photosensitive SnO_(2) colloidal solution (sol) was developed, from which complex micronanostructures were written via a two-photon absorption process. After thermal decomposition of organic components, the patterned SnO_(2) microsensors responded to relative humidity (RH) with a variation range of 5 orders of magnitude. FIMS would open a new door for miniaturization of micronanosensors expected in intelligent microsystems.
机译：据报道，飞秒激光直接图案化传感材料，实现微纳米传感器（FIMS）的灵活集成，这意味着可以在不限于硅的基板非平坦表面上制造尺寸更小的多功能传感器。作为一个代表性的例子，开发了感光的SnO_（2）胶体溶液（sol），通过双光子吸收过程从中写入了复杂的微纳米结构。有机成分热分解后，图案化的SnO_（2）微传感器对相对湿度（RH）的响应范围为5个数量级。 FIMS将为智能微系统中有望实现的微型纳米传感器的小型化打开新的大门。

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