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【24h】

Optical phase modulators using deformable waveguides actuated by micro-electro-mechanical systems

机译：使用由微机电系统驱动的可变形波导的光相位调制器

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An optical phase modulator is presented by using micro-electro-mechanical systems to actuate deformable silicon waveguides. Via mechanically stretching the waveguide length, the optical path is extended, resulting in a phase shift. The experimental results show that a phase shift of near 0.4pi is achieved at 200 V for both TE- and TM-polarized waves by cascading six phase modulation units, agreeing well with the theoretical prediction. The power consumption is estimated to be smaller than 0.2mW at 200 V, mainly resulting from the leakage current.
机译：通过使用微机电系统来致动可变形硅波导，提出了一种光相位调制器。通过机械拉伸波导长度，光路得以扩展，从而导致相移。实验结果表明，通过级联六个相位调制单元，对于TE和TM极化波，在200 V时都实现了接近0.4pi的相移。估计功耗为200 V时小于0.2mW，这主要是由于泄漏电流引起的。

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