机译:菲涅耳波带片的离子束光刻制造及其在13 nm波长的极紫外显微镜中的物镜应用
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机译:用于极端紫外线和软X射线区域的菲涅耳区板的快速且易于制造的方法。
机译:消色差空间频率倍增与极紫外辐射的高分辨率菲涅耳波带片制造
机译:极端紫外线区域的全息术:高分辨率菲涅耳区板的新制造技术
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:菲涅耳波带片投影技术在光流显微镜中的应用
机译:用于X射线显微镜中菲涅耳波带片的离子束光刻
机译:用于极紫外光刻的13nm光学计量