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Single-shot profilometry of rough surfaces using hyperspectral interferometry

机译：使用高光谱干涉仪对粗糙表面进行单次轮廓分析

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The combination of white light interferometry with hyperspectral imaging ("hyperspectral interferometry") is a recently proposed technique for single-shot measurement of 3D surface profiles. We consider for the first time its application to speckled wavefronts from optically rough surfaces. The intensity versus wavenumber signal at each pixel provides unambiguous range information despite the speckle-induced random phase shifts. Experimental results with samples undergoing controlled rigid body translation demonstrate a measurement repeatability of 460 nm for a bandwidth of approximately 30 nm. Potential applications include roughness measurement and coordinate measurement machine probes where rapid data acquisition in noncooperative environments is essential.
机译：白光干涉术与高光谱成像（“高光谱干涉术”）的结合是最近提出的用于单次测量3D表面轮廓的技术。我们首次考虑将其应用于光学粗糙表面上的斑点波前。尽管有斑点引起的随机相移，但每个像素处的强度与波数信号仍提供了明确的范围信息。对样品进行受控的刚体平移的实验结果表明，对于约30 nm的带宽，测量重复性为460 nm。潜在的应用包括粗糙度测量和坐标测量机探针，在非合作环境中快速采集数据至关重要。

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