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Laser-written nanoporous silicon ridge waveguide for highly sensitive optical sensors

机译：激光写入的纳米多孔硅脊形波导，用于高度敏感的光学传感器

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We report that low-loss ridge waveguides are directly written on nanoporous silicon layers by using an argon-ion laser at 514 nm up to 100 mW. Optical characterization of the waveguides indicates light propagation loss lower than 0.5 dB/cm at 1550 nm after oxidation. A Mach-Zehnder interferometer sensor is experimentally demonstrated using the waveguide in its sensing branch, and analytical results indicate that very high sensitivity can be achieved. With large internal surface area, versatile surface chemistry, and adjustable index of refraction of porous silicon, the ridge waveguides can be used to configure Mach-Zehnder interferometers, Young's interferometers, and other photonic devices for highly sensitive optical biosensors and chemical sensors as well as other applications.
机译：我们报告说，通过使用高达100 mW的514 nm的氩离子激光器，可以将低损耗的脊形波导直接写在纳米多孔硅层上。波导的光学特性表明，氧化后在1550 nm处的光传播损耗低于0.5 dB / cm。实验证明了在传感分支中使用波导的Mach-Zehnder干涉仪传感器，分析结果表明可以实现非常高的灵敏度。脊形波导具有较大的内部表面积，通用的表面化学性质以及多孔硅的可调折射率，因此可以使用脊形波导配置Mach-Zehnder干涉仪，Young干涉仪以及其他用于高灵敏度光学生物传感器和化学传感器的光子器件。其他应用程序。

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