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Design and sub-beam phase measurement of Dammann grating with three-phase array output

机译：具有三相阵列输出的达曼光栅的设计和子光束相位测量

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An improved type of Dammann grating (DG) that could generate an equal-intensity spot array which has only three phases is proposed. Numerical solutions of 1 × 4 and 1 × 5 such DGs are given. A 4 × 4 two-phase DG manufactured by very-large-scale integration (VLSI) techniques is presented. A phase-shift-interferometry-based technique that measures the intensity and sub-beam phases of beam splitting gratings is proposed. The performance measurements of the manufactured 4 × 4 two-phase DG using the proposed technique is carried out.
机译：提出了一种可产生仅具有三相的等强度点阵列的改进型达曼光栅（DG）。给出了1×4和1×5这样的DG的数值解。介绍了通过超大规模集成（VLSI）技术制造的4×4两相DG。提出了一种基于相移干涉测量技术的分束光栅的强度和子光束相位测量技术。使用提出的技术对制造的4×4两相DG进行性能测量。

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