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Measurement of absolute optical thickness of mask glass by wavelength-tuning Fourier analysis

机译：波长调谐傅立叶分析法测量掩模玻璃的绝对光学厚度

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Optical thickness is a fundamental characteristic of an optical component. A measurement method combining discrete Fourier-transform (DFT) analysis and a phase-shifting technique gives an appropriate value for the absolute optical thickness of a transparent plate. However, there is a systematic error caused by the nonlinearity of the phase-shifting technique. In this research the absolute optical-thickness distribution of mask blank glass was measured using DFT and wavelength-tuning Fizeau interferometry without using sensitive phase-shifting techniques. The error occurring during the DFT analysis was compensated for by using the unwrapping correlation. The experimental results indicated that the absolute optical thickness of mask glass was measured with an accuracy of 5 nm. (C) 2015 Optical Society of America
机译：光学厚度是光学部件的基本特征。结合离散傅里叶变换（DFT）分析和相移技术的测量方法可为透明板的绝对光学厚度提供适当的值。但是，由于相移技术的非线性而导致系统误差。在这项研究中，使用DFT和波长调谐Fizeau干涉法而不使用敏感的相移技术来测量面罩毛坯玻璃的绝对光学厚度分布。 DFT分析过程中发生的错误通过使用展开相关性得到补偿。实验结果表明，掩模玻璃的绝对光学厚度的测量精度为5 nm。 （C）2015年美国眼镜学会

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