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首页> 外文期刊>Optics Letters >Robust postfabrication trimming of ultracompact resonators on silicon on insulator with relaxed requirements on resolution and alignment
【24h】

Robust postfabrication trimming of ultracompact resonators on silicon on insulator with relaxed requirements on resolution and alignment

机译：对绝缘体上硅上的超紧凑谐振器进行鲁棒的后加工修整，对分辨率和对准性有宽松的要求

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One of the main drawbacks of the high-index-contrast silicon-on-insulator platform in integrated photonics is the high sensitivity of the resonance wavelength of resonators to dimensional variations caused by fabrication imperfection. In this work, we experimentally demonstrate an accurate postfabrication trimming technique for compensating the fabrication-induced variations in the resonance properties of nanophotonic devices. Using this technique, we reduce the variation of the resonance wavelength of 4 mu m diameter microdonut resonators by more than 1 order of magnitude to about 25 pm, which is adequate for most interconnect, optical signal processing, and sensing applications. In addition, our proposed technique has improved misalignment toleration and throughput compared to previous reports. (C) 2015 Optical Society of America
机译：集成光子学中的高折射率对比绝缘体上硅平台的主要缺点之一是谐振器的谐振波长对由制造缺陷引起的尺寸变化具有很高的灵敏度。在这项工作中，我们通过实验证明了一种精确的后加工微调技术，可补偿纳米光子器件的共振特性中因加工引起的变化。使用这种技术，我们可以将直径为4μm的微型甜甜圈谐振器的谐振波长变化降低1个数量级以上，达到约25 pm，这对于大多数互连，光信号处理和传感应用而言已足够。此外，与先前的报告相比，我们提出的技术还提高了对中误差的容忍度和吞吐量。 （C）2015年美国眼镜学会

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