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High reflectance Cr/V multilayer with B4C barrier layer for water window wavelength region

机译：具有B4C阻挡层的高反射率Cr / V多层膜，用于水窗波长区域

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To develop the high reflectance mirror for the short wavelength range of the water window region (lambda = 2.42-2.73 nm), Cr/V multilayers with B4C barrier layers are studied. The grazing incidence x-ray reflectometry results show that the multilayer interface widths are significantly reduced down to 0.21 - 0.31 nm, after the introduction of 0.1 nm B4C barrier layers at both interfaces. The [B4C/Cr/B4C/V] multilayer with a large number of bilayers of N = 300 maintains the same small interface widths while the surface roughness is only 0.2 nm. According to the transmission electron microscope measurements, the layer structure improvement with barrier layers can be attributed to the suppression of the crystallization of vanadium inside the structure. Using the interface engineered multilayer, a maximum soft x-ray reflectance of 24.3% is achieved at lambda = 2.441 nm, under the grazing incidence of 42 degrees. (C) 2016 Optical Society of America
机译：为了开发用于水窗区域的短波长范围（λ= 2.42-2.73 nm）的高反射镜，研究了具有B4C阻挡层的Cr / V多层膜。掠入射X射线反射法的结果表明，在两个界面处引入0.1 nm B4C阻挡层后，多层界面宽度显着减小至0.21- 0.31 nm。具有大量N ＝ 300的双层的[B4C / Cr / B4C / V]多层保持相同的小界面宽度，而表面粗糙度仅为0.2nm。根据透射电子显微镜的测量，阻挡层的层结构改善可归因于抑制结构内部钒的结晶。使用界面工程多层膜，在42度的掠入射下，λ= 2.441 nm时，最大的x射线软反射率为24.3％。 （C）2016美国眼镜学会

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