• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Physics of plasmas >A comprehensive study of different gases in inductively coupled plasma torch operating at one atmosphere
【24h】

A comprehensive study of different gases in inductively coupled plasma torch operating at one atmosphere

机译：在一个大气压下工作的感应耦合等离子体炬中不同气体的全面研究

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

A numerical study is done to understand the possible operating regimes of RF-ICP torch (3 MHz, 50 kW) using different gases for plasma formation at atmospheric pressure. A two dimensional numerical simulation of RF-ICP torch using argon, nitrogen, oxygen, and air as plasma gas has been investigated using computational fluid dynamic (CFD) software fluent. The operating parameters varied here are central gas flow, sheath gas flow, RF-power dissipated in plasma, and plasma gas. The temperature contours, flow field, axial, and radial velocity profiles were investigated under different operating conditions. The plasma resistance, inductance of the torch, and the heat distribution for various plasma gases have also been investigated. The plasma impedance of ICP torch varies with different operating parameters and plays an important role for RF oscillator design and power coupling. These studies will be useful to decide the design criteria for ICP torches required for different material processing applications.
机译：进行了数值研究，以了解在大气压下使用不同气体进行等离子体形成的RF-ICP焊炬（3 MHz，50 kW）的可能工作方式。使用计算流体力学（CFD）软件流利，研究了使用氩，氮，氧和空气作为等离子气体的RF-ICP炬的二维数值模拟。这里变化的操作参数是中央气流，鞘气流，等离子体中消耗的RF功率和等离子体气体。在不同的操作条件下研究了温度轮廓，流场，轴向和径向速度分布图。还研究了等离子体电阻，割炬的电感以及各种等离子体气体的热分布。 ICP焊炬的等离子体阻抗随不同的工作参数而变化，并且在RF振荡器设计和功率耦合中起着重要作用。这些研究将有助于确定不同材料加工应用所需的ICP焊炬的设计标准。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号