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Plasmonic roller lithography

机译：等离子体辊光刻

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Photo roller lithography systems can generate patterns continuously over large areas by employing flexible photomasks on rotating quartz cylinders. In comparison, plasmonic lithography systems can reach deep sub-wavelength resolution utilizing evanescent waves carrying high spatial frequency components. In this work, we demonstrate a plasmonic roller system by integrating a quartz mechanical roller with a specially designed photomask based on plasmonic waveguide lithography. Deep sub-wavelength uniform patterns with high aspect ratios were printed continuously over a moving substrate. The plasmonic roller system may find practical applications in the large-scale production of electronic and photonic devices in a cost-effective way.
机译：光滚筒光刻系统可以通过采用旋转石英瓶上的柔性光掩模在大区域上连续产生图案。 相比之下，等离子体光刻系统可以利用携带高空间频率分量的渐逝波来达到深度的亚波长分辨率。 在这项工作中，我们通过将石英机械辊与基于等离子体波导光刻的专用设计的光掩模集成来展示等离子体滚子系统。 具有高纵横比的深层波长均匀图案在移动基板上连续印刷。 等离子体辊系统可以以经济高效的方式在大规模生产电子和光子器件的大规模生产中找到实际应用。

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