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首页> 外文期刊>Optics Communications: A Journal Devoted to the Rapid Publication of Short Contributions in the Field of Optics and Interaction of Light with Matter >Robust design of broadband EUV multilayer using multi-objective evolutionary algorithm
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Robust design of broadband EUV multilayer using multi-objective evolutionary algorithm

机译：宽带EUV多层利用多目标进化算法的鲁棒设计

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Considering the random fluctuations of the layer thickness, a method of robust design of broadband EUV multilayers based on multi-objective evolutionary algorithm is presented. Owing to the optimization of multiobjective evolutionary algorithm, the optical performance and robust quality of broadband Mo/Si multilayer can be optimized simultaneously, and then a set of robust designs of aperiodic EUV multilayers, which are insensitive to the thickness errors can be obtained in one single simulation run. The robust designs of broadband Mo/Si multilayers could be used to reduce the production risks of EUV mirrors, and this research demonstrates a great potential of application of multi-objective evolutionary algorithm on the design of optical thin film. (C) 2017 Elsevier B.V. All rights reserved.
机译：考虑到层厚度的随机波动，介绍了基于多目标进化算法的宽带EUV多层多层的鲁棒设计方法。 由于多目标进化算法的优化，可以同时优化宽带Mo / Si多层的光学性能和鲁棒质量，然后可以在一个内部对非周期性EUV多层进行对非周期性EUV多层的鲁棒设计进行不敏感的鲁棒设计 单仿真运行。 宽带Mo / Si多层设计的强大设计可用于降低EUV镜子的生产风险，这项研究表明了多目标进化算法在光学薄膜设计上的应用巨大潜力。 （c）2017年Elsevier B.V.保留所有权利。

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