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Impact of deposition-rate fluctuations on thin-film thickness and uniformity

机译：沉积率波动对薄膜厚度和均匀性的影响

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摘要

Variations in deposition rate are superimposed on a thin-film deposition model with planetary rotation to determine the impact on film thickness. Variations in magnitude and frequency of the fluctuations relative to the speed of planetary revolution lead to thickness errors and uniformity variations up to 3%. Sufficiently rapid oscillations in the deposition rate have a negligible impact, while slow oscillations are found to be problematic, leading to changes in the nominal film thickness. Superimposing noise as a random fluctuation in the deposition rate has a negligible impact, confirming the importance of any underlying harmonic oscillations in the deposition rate or source operation.
机译：沉积速率的变化叠加在具有行星旋转的薄膜沉积模型上，以确定对膜厚度的影响。 波动的幅度和频率相对于行星旋转速度的变化导致厚度误差和均匀性变化高达3％。 沉积速率的充分快速振荡具有可忽略不计的影响，而发现慢振荡是有问题的，导致标称膜厚度的变化。 作为沉积速率的随机波动的叠加噪声具有可忽略不计的影响，确认任何潜在的谐波振荡在沉积速率或源操作中的重要性。

著录项

  • 来源
    《Optics Letters》 |2016年第22期|共4页
  • 作者

    Oliver J. B.;

  • 作者单位

    Univ Rochester Laser Energet Lab 250 E River Rd Rochester NY 14623 USA;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 计量学;光学;
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