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High-performance silver-dielectric interference filters for RGBIR imaging

机译：用于RGBIR成像的高性能银介电干扰滤波器

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摘要

New architectures of interference silver-dielectric multilayer filters inspired from induced transmission designs are investigated with the prospect of high-performance red-greenblue (RGB) complementary metal oxide semiconductor imaging. The optimized designs provide combined colorimetric, signal-to-noise ratio and sensitivity performances similar to the traditional organic color filters, but without the equirement of an external infrared (IR)-cut filter, which enables the integration of additional channels such as white or IR, in addition to RGB. Due to the sub-micrometer thickness of the stacks, this is a unique solution for fully integrated, high-performance multispectral filters patterned in very small pixels. The concept is demonstrated by a wafer-scale prototype with RGBIR filters patterned down to 1.4 mu m adjacent pixels with up to 80% transmission. (C) 2018 Optical Society of America
机译：采用高性能红绿色（RGB）互补金属氧化物半导体成像的前景，研究了从诱导传输设计的引发传输设计的激发器的新架构进行了冲击型银介质多层滤光器。 优化的设计提供了类似于传统有机滤色器的组合比色，信噪比和灵敏度性能，但是没有外部红外线（IR）-Cut滤波器的均匀，这使得能够集成诸如白色或白色的附加信道 IR，除了RGB。 由于堆叠的亚微米厚度，这是一个独特的解决方案，用于完全集成的，高性能的多光谱滤波器在非常小的像素中。 该概念由晶片级原型进行说明，RGBIR滤波器下降至1.4 mu m的相邻像素，其传输高达80％。 （c）2018年光学学会

著录项

  • 来源
    《Optics Letters》 |2018年第6期|共4页
  • 作者

    Frey Laurent; Masarotto Lilian; El Melhaoui Loubna; Verrun Sophie; Minoret Stephane; Rodriguez Guillaume; Andre Agathe; Ritton Frederic; Parrein Pascale;

  • 作者单位

    Univ Grenoble Alpes CEA LETI MINATEC 17 Rue Martyrs F-38054 Grenoble France;

    Univ Grenoble Alpes CEA LETI MINATEC 17 Rue Martyrs F-38054 Grenoble France;

    Univ Grenoble Alpes CEA LETI MINATEC 17 Rue Martyrs F-38054 Grenoble France;

    Univ Grenoble Alpes CEA LETI MINATEC 17 Rue Martyrs F-38054 Grenoble France;

    Univ Grenoble Alpes CEA LETI MINATEC 17 Rue Martyrs F-38054 Grenoble France;

    Univ Grenoble Alpes CEA LETI MINATEC 17 Rue Martyrs F-38054 Grenoble France;

    Univ Grenoble Alpes CEA LETI MINATEC 17 Rue Martyrs F-38054 Grenoble France;

    Univ Grenoble Alpes CEA LETI MINATEC 17 Rue Martyrs F-38054 Grenoble France;

    29 Bis Rue Abbe Vincent F-38600 Fontaine France;

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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 计量学;光学;
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