Single-shot ultrafast laser processing of high-aspect-ratio nanochannels using elliptical Bessel beams

Meyer R.; Jacquot M.; Giust R.; Safioui J.; Rapp L.; Furfaro L.; Lacourt P. -A.; Dudley J. M.; Courvoisier F.

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Single-shot ultrafast laser processing of high-aspect-ratio nanochannels using elliptical Bessel beams

机译：使用椭圆形贝塞尔梁的高纵横比纳米槽的单次超快激光加工

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Ultrafast lasers have revolutionized material processing, opening a wealth of new applications in many areas of science. A recent technology that allows the cleaving of transparent materials via non-ablative processes is based on focusing and translating a high-intensity laser beam within a material to induce a well-defined internal stress plane. This then enables material separation without debris generation. Here, we use a non-diffracting beam engineered to have a transverse elliptical spatial profile to generate high-aspect-ratio elliptical channels in glass of a dimension 350 nm x 710 nm and subsequent cleaved surface uniformity at the sub-micron level. (C) 2017 Optical Society of America

机译：超快激光器具有革命性的材料加工，在许多科学领域开辟了丰富的新应用。最近允许通过非烧蚀过程切割透明材料的技术基于聚焦和平移材料内的高强度激光束以诱导明确界定的内应力平面。然后，这使得没有碎片的物质分离。这里，我们使用工程化的非衍射光束具有横向椭圆形状轮廓，以在尺寸350nm×710nm的玻璃中产生高纵横比椭圆通道，并在亚微米水平处随后切割的表面均匀性。（c）2017年光学学会

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来源
《Optics Letters》 |2017年第21期|共4页
作者
Meyer R.; Jacquot M.; Giust R.; Safioui J.; Rapp L.; Furfaro L.; Lacourt P. -A.; Dudley J. M.; Courvoisier F.;
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作者单位

Univ Bourgogne Franche Comte UMR 6174 FEMTO ST F-25030 Besancon France;

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正文语种 eng
中图分类计量学;光学;
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