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首页> 外文期刊>Physics of plasmas >Measurement of the electron energy distribution function in CO2 inductively coupled plasma
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Measurement of the electron energy distribution function in CO2 inductively coupled plasma

机译：CO2电感耦合等离子体中的电子能量分布功能测量

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CO2 inductively coupled plasmas (ICPs) were generated using a radio frequency power of 13.56 MHz at 100 mTorr. Electron energy distribution functions (EEDFs) were measured using a single Langmuir probe, and various plasma parameters such as the electron density and electron temperature were obtained from the measured EEDFs. EEDFs with multislope structures are obtained. However, changes in the gas composition in the ICP were observed via optical emission spectroscopy. The electron density barely increases when a sudden change in the gas composition occurs. The E to H mode transition occurs at a stationary gas composition as the absorbed power increases. The EEDFs of CO2 plasma, CO plasma, and O-2 plasma were calculated using BOLSIG+, which is a two term Boltzmann solver [G. Hagelaar and L. Pitchford, Plasma Sources Sci. Technol. 14(4), 722 (2005)]. The measured EEDF is closest to the EEDF of the CO plasma.
机译：CO2电感耦合等离子体（ICPS）是在100 mTorr的13.56 MHz的射频功率产生的。 使用单个Langmuir探针测量电子能量分布功能（EEDFS），并从测量的EEDFS获得各种等离子体参数，例如电子密度和电子温度。 获得具有多光栅结构的EEDFS。 然而，通过光发射光谱观察ICP中的气体组合物的变化。 当发生气体成分的突然变化时，电子密度几乎没有增加。 随着吸收功率的增加，E到H模式转换发生在固定气体组合物中。 使用Bolsig +计算CO 2等离子体，CO等离子体和O-2等离子体的EEDF，这是两个术语Boltzmann求解器[G. 哈格拉和L.Pitchford，等离子来源SCI。 技术。 14（4），722（2005）]。 测量的EEDF最接近Co等离子体的EEDF。

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