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Image charge detection statistics relevant for deterministic ion implantation

机译：图像电荷检测统计与确定性离子植入相关

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Image charge detection is a non-perturbative pre-detection approach for deterministic ion implantation. Using low energy ion bunches as a model system for highly charged single ions, we experimentally studied the error and detection rates of an image charge detector setup. The probability density functions of the signal amplitudes in the Fourier spectrum can be modelled with a generalised gamma distribution to predict error and detection rates. It is shown that the false positive error rate can be minimised at the cost of detection rate, but this does not impair the fidelity of a deterministic implantation process. Independent of the ion species, at a signal-to-noise ratio of 2, a false positive error rate of 0.1% is achieved, while the detection rate is about 22%.
机译：图像电荷检测是用于确定性离子植入的非扰动预检测方法。 使用低能量离子束作为高度充电单离子的模型系统，我们通过实验研究了图像电荷检测器设置的误差和检测速率。 傅立叶频谱中的信号幅度的概率密度函数可以用广义伽马分布建模以预测误差和检测速率。 结果表明，在检测率的成本下可以最小化误报率误差率，但这不会损害确定性植入过程的保真度。 独立于离子物种，以2的信噪比为2，实现了0.1％的误码率为0.1％，而检出率为约22％。

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