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【24h】

Robust phase-stepping interferometry for traceable length measurements in a Hilger-Watts gauge-block interferometer

机译：鲁棒的阶梯步进干涉测量法，用于可追踪长度测量的Hilger-WattS块 - 块干涉仪

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We demonstrate a simple adaptation of the venerable Hilger-Watts gauge-block interferometer capable of performing automated, traceable calibrations of gauge block length by phase-stepping interferometry (PSI). We discuss the selection of robust PSI filtering algorithms to counteract in software the flaws of the hardware implementation, including markedly non-sinusoidal fringes and inhomogeneous phase step size. We find that the length measurement errors attributable to the phase measurement can be reduced to 0.6 nm, even with a simple retrofit to an instrument not originally designed for PSI.
机译：我们证明了能够通过相位步进干涉测量（PSI）执行能够执行可自动化的，可追踪晶片长度的自动化，可追踪校准的古老的Hiler-Watts表块干涉仪。 我们讨论了鲁棒PSI滤波算法的选择，以抵消软件硬件实现的缺陷，包括明显的非正弦条纹和不均匀的相位尺寸。 我们发现，归因于相位测量的长度测量误差可以减少到0.6nm，即使对于最初为PSI设计的仪器而言，也可以简单地改装。

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