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【24h】

Study of the model of liquid-phase recrystallization of a polysilicon layer on a sapphire substrate

机译:蓝宝石衬底上多晶硅层的液相重结晶模型的研究

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摘要

The dynamics of the transformation of a polysilicon layer on a sapphire substrate by liquid_phase recrystallization with a scanning heat source is considered.
机译:考虑了用扫描热源通过液相重结晶在蓝宝石衬底上的多晶硅层的转变动力学。

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