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【24h】

Cluster Model of the Mechanism of Sensitivity of Gas Sensors Based on MIS Structures

机译:基于MIS结构的气体传感器灵敏度机理的集群模型

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摘要

A cluster model of the mechanism of sensitivity to gases is proposed, according to which the change in the electric capacity of a MIS sensor under the action of gas is caused by a change in the dielectric constant of the metal - dielectric transition layer under the action of gas molecules. The dielectric constant of the transition layer changes due to the rearrangement of the electronic structure of the traps.
机译:提出了一种对气体敏感性机制的集群模型,根据该敏感性的气体机构的模型,根据气体作用下MIS传感器的电容的变化是由该作用下的金属介电过渡层的介电常数的变化引起的 气体分子。 由于陷阱的电子结构的重新排列,过渡层的介电常数变化。

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